以片上DNA(lab-on-chip)实验室形式的微电子机械系统，或者MEMS技术，开始在微生物样本快速分析的仪器中扮演越来越重要的角色。系统的片上实验室组件集成了电子、机械和生物单元，并采用微流体技术来改善鉴定速度、便利性、以及实现重要临床诊断的经济性。 　　由于采用IC技术，MEMS技术具有非常大吸引力，因为可以利用精确控制的工艺，实现器件的大批量并行且精确的重复生产；这种工艺技术与生产硅芯片所开发出来的技术是相同的。事实上，今天面向系统的微电子技术使得能够一个芯片上集成包括机械传感器和接