一、前言 　　硅微机械传感器是用半导体硅加工工艺实现的传感器。体积小使其获得广泛的应用前景。但是由于体积小，微小的绝对机械误差却产生较大的相对误差，带来运动交互干扰，即机械耦合问题。电容式硅微机械陀螺是用于测量转动角速度的传感器。由力学原理可知，由刚体转动（角速度ωe）和平动（线速度vr），可产生一正交的加速度（科利奥里加速度，科氏加速度ac）。 　　图1 科氏加速度 　　在设计微陀螺结构时,为了提高灵敏度,往往使驱动轴和敏感轴的谐振频率尽量接近,从而增加了系统的机械耦合敏感性。由