非晶硅太阳电池是1976年有出现的新型薄膜式太阳电池，它与单晶硅和多晶硅太阳电池的制作方法完全不同，硅材料消耗很少，电耗更低，非常吸引人。1997年占世界PV发货量的15%，目前已形成30MW/年的生产规模。针对a-Si电池初始效率较低，且有光致衰退问题，开展了大量深入研究工作。通过减少材料中的Si—H2键、减少O2、N2等杂质沾污，利用H2稀释技术等制备高质量i层；同时优化电池结构设计，采用多带隙叠层结构；既提高了初始效率又提高了其稳定性，目前最好电池的稳定效率达13%。近年来a-Si电池的产