课程内容： 1 外延层质量参数 1.1 外延层电阻率ρepi 1.2 外延层的杂质浓度分布 1.3 外延层厚度 1.4 少数载流子寿命 1.5 外延层中的缺陷 1.5.1 表面缺陷 1.5.2 体内缺陷 2 外延层质量参数的检验 2.1 ρepi的检验 2.1.1 三探针法测ρepi-对（外延层/