溶胶凝胶法制备减反膜在高功率激光装置中有着重要运用，通过控制水与正硅酸乙酯(TEOS)不同特质的量之比制备不同粒径大小的二氧化硅悬胶体及二氧化硅减反膜，可以研究悬胶体粒径大小对溶液及膜层的激光破坏阈值、光学减反效率稳定性影响。结果表明制备获得的多孔性SiO2减反膜透射率均高于99.5%，激光破坏阈值均大于62 J/cm2(1064 nm,15 ns)，其中粒径小的SiO2减反膜透射率达到99.75%，激光破坏阈值高达77.42 J/cm2(1064 nm,15 ns)。随着水酯物质的量比值增大，