介绍了利用高倍放大的超薄多层膜的剖面图，经FC数字化图像处理系统进行数字化处理后，给出详细的定量结构参数的详细过程。并给出了对利用平面磁控溅射淀积的10个周期数的Mo/Si周期多层膜的实际处理结果，获得了界面上的渗透层厚度和粗糙度值，并与小角X光衍射法测得的结果进行了比较。