随着集成光路和全光网络技术的发展,基于环形光谐振器结构的半导体环形激光器日益受到人们的关注,成为近年来集成光学领域的研究热点之一。设计制备了一种双直波导耦合输出半导体环形激光器,并进行了相应测试。该器件环形谐振腔波导宽度3.4 μm,环形腔半径349 μm,直波导与环形腔耦合间距1.0 μm,其阈值电流为36 mA,自由光谱范围(FSR)为0.33 nm,61 mA下激射光谱的中心波长为1566.66 nm,用光纤对准直波导口,测得直波导耦合光功率输出达到40 μW。通过该器件的光功率电流特性曲