基于介质/金属膜结构空芯波导的原理，制作了用于太赫兹波传输的大口径柔性介质/金属膜波导。针对大口径的特点，设计改良了液相镀膜法并制作了具有不同介质膜厚的柔韧波导。对制作波导的介质膜厚和损耗谱等进行了理论分析和实验验证。采用发射频率为2.5 THz的量子级联激光器，对介质/金属膜结构太赫兹空芯波导的传输损耗、弯曲附加损耗以及光斑能量分布特性等进行了实验研究。结果表明，传输损耗及弯曲附加损耗均随介质膜厚的增加而减小，光斑能量则随介质膜厚的增加更加集中于低阶传输模式。