数控小工具技术(CCOS)是目前大型非球面光学零件抛光中很重要的一种加工方式。数控小工具加工模型建立在普林斯顿(Princeton)假设基础之上,通过计算机控制小工具在工件表面的驻留时间及其他参数来实现工件表面材料的精确去除。在实际工作中发现,运用CCOS技术加工过的镜面上总会出现比较严重的中高频差(周期≤33 mm),并且不易消除。设计一种被动式应力盘来解决这一问题,利用ANSYS软件模拟该柔性抛光盘在加工中的变形情况,计算出抛光效果最好时两个变形层的厚度。这种柔性抛光盘在420 mm f/