叙述了已研制成功的红外移相式数字干涉仪的原理和性能,光源为CO2激光器(λ＝10.6 μm),该仪器光路是斐索型干涉系统,孔径为φ250 mm,不确定度PV值优于λ/130(2σ);也可构成泰曼球波面干涉系统。采用压电晶体驱动参考反射镜作相位调制,完成了对热释电摄像机的热电靶的温度调制。给出红外望远系统波前和光盘基片平面度实测光程差的二维等值图和三维立体图。