随着集成电路的结构功能模块化，元件级诊断已没有必要，且容差特性将导致累积误差缺陷。对此提出一种云模型嵌套小波网络的大规模集成电路故障诊断方法。采集网络撕裂后的模块化集成电路状态信息，用正向云模型对采集量归一化预处理作为小波网络数据量输入，经训练后的输出数据组逆云化处理，得出辨识明晰的诊断结果。例证说明，该方法提高了集成电路的故障诊断精度。