随着现代光学测试技术的不断发展，对图像处理技术的要求越来越高。灰度级层次蕴含了图像细节的重要信息，因此改变图像灰度级可以使图像的细节更清晰。通过滤光技术可以形成不同的灰度级。依据光学薄膜理论，并结合膜系设计软件，通过建立膜系优化评价函数，实现了0°~60°入射3~5 μm滤光膜的设计，并采用真空沉积技术研制了灰度调节膜。通过在钼舟上方放置铜网，解决了由于SiO沉积速率不稳定产生的膜层表面缺陷的问题；采用逆向分析法对实验测试结果进行模拟，通过调整膜层监控方式，使膜系的敏感层厚度得以精准控制，降低了