提出了一个有效工艺设计参数——选择性扩散掩膜窗口宽度与电极宽度的比值T。研究结果表明，对不同的衬底浓度和掺杂浓度均存在一个最佳T 值可以获得最大短路电流。选择性扩散浓度为1×1018~1×10-3 cm-3时，其最佳T 值为1；选择性扩散浓度为1×10-3 cm-3时，最佳T 值小于0.5。电极宽度的增加减小了光生电流，但对最佳T 值影响较小。选择性掺杂浓度的增加会使得最佳T 值减小。