如何利用Zemax进行MEMS设计，通过学习可以了解简单的zemax建模mems

微机电系统MEMS(Micro electromechanical systems)近年来随着半导体加工工艺的日渐成熟而提高，集光、机、电、信号处理、封装与一体，便于小型化、智能化，在投影显示、光开关、传感、生物医学、遥感等众多领域应用日趋广泛。另外MEMS在精确调制光，光反馈方面优势明显。如近年来兴起的基于MEMS的自适应光学、光学综合孔径技术。