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搜索资源 - 完全耗尽的栅叠层双栅极应变SiMOSFET中渐变沟道设计对改善短沟道抗扰度和热载流子可靠性的影响
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完全耗尽的栅叠层双栅极应变Si MOSFET中渐变沟道设计对改善短沟道抗扰度和热载流子可靠性的影响
本文提出了一种新的纳米级梯度沟道栅堆叠,双栅应变硅MOSFET结构及其二维解析模型。假定界面,并考虑了掺杂的影响以及高,低掺杂区的长度。该模型用于获得两个区域中表面势和电场的表达式。 扩展分析以获得阈值电压(Vth),亚阈值电流和亚阈值摆幅的表达式。 结果表明,沟道中的渐变掺杂分布可抑制短沟道效应(SCE),例如Vth滚降,漏极诱导的势垒降低(DIBL)和热载流子效应。 已将如此获得的结果与使用设备模拟器ISE-TCAD获得的模拟结果进行了比较,发现该一致性良好。
所属分类:
其它
发布日期:2021-03-14
文件大小:524288
提供者:
weixin_38554193