利用聚合物/SiO2混合材料脊形波导结构以及化学气相沉积(CVD)、涂膜和湿法刻蚀等工艺,设计并制备了一种低功耗马赫-曾德尔干涉(MZI)热光开关。测试了波导芯层和包覆层材料的色散特性,模拟分析了器件的输出功率和光谱性能。以可调谐激光器作为光源,实验测试了所制备器件的开关、响应和光谱特性。在1 550nm中心波长下,器件的开关功耗约为7.8mW,ON与OFF状态间的消光比达32.6dB。在纯净方波驱动电压信号(峰峰值为3 Vpp)作用下,测得器件的上升和下降时间分别为107和71μs。保持器件在
