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mems射频微机械移相器
MEMS 技术显示了其在微波领域的巨大应用潜力。利用RF MEMS 开关制造的RF MEMS 移 相器具有插损小、功耗低、宽带宽、体积小等优点,因此成为研究的热点。本文对国际上R F M E M S 的研究和发展进行了比较全面的综述,并介绍了DMTL 移相器,该移相器在DC~30GHz 范围内具有较好 的线性度,在20GHz 时相移为0°/11.6° /32.6°/48.5°,反射损失好于-11dB,插损小于-1.8dB。最后分 析了各种移相器的特点和设计、制造的难点,对M E M S 移相器
所属分类:
制造
发布日期:2010-04-13
文件大小:172032
提供者:
fht20063089
一种90°分布式MEMS 移相器的设计
近年来随着射频微机械技术的发展,MEMS移相器越来越受到人们广泛关注,已经成为人们主要研究的MEMS器件之一。与传统的移相器相比,MEMS移相器多采用半导体材料作衬底,用微机械加工技术制备,具有频带宽、损耗小、成本低、超小型化、易于与IC、MMIC电路集成等优点,因此在微波及毫米波控制电路中具有广泛的应用前景。美国密歇根大学的Barker博士通过在共面波导上周期加载MEMS 金属桥的方法,首先实现了毫米波段宽频带的MEMS移相器,如图1 所示,它的基本原理是通过改变MEMS 金属桥的高度来改变传
所属分类:
其它
发布日期:2020-10-24
文件大小:145408
提供者:
weixin_38573171
电子测量中的一种90°分布式MEMS移相器的设计
摘要:RF MEMS移相器具有传统移相器所无法比拟的体积小、损耗小、成本低、频带宽、易于集成等突出优点。通过在共面波导信号线上贴敷低介电常数的薄层绝缘介质,使得MEMS金属桥与共面波导信号线在“关”态下形成MIM电容的方法,实现了提高“关”“开”两种状态下的电容比,从而提高了单位长度上的相移量。在Ka波段下,建立90°分布式MEMS移相器的等效电路,并对其进行了仿真优化,达到要求的技术指标。 0 序言 近年来随着射频微机械技术的发展,MEMS移相器越来越受到人们广泛关注,已经成为 人
所属分类:
其它
发布日期:2020-11-10
文件大小:230400
提供者:
weixin_38621565
RFID技术中的射频微机械移相器
射频微机械移相器 娄建忠 ,赵正平, 杨瑞霞, 吕苗,胡小东 (1.河北工业大学信息学院,天津300130;2.河北大学电子信息工程学院,) 1 引言 微波移相器是相控阵雷达、卫星通信、移动通信设备中的核心组件,它的工作频带、插入损耗直接影响着这些设备的抗干
所属分类:
其它
发布日期:2020-12-09
文件大小:82944
提供者:
weixin_38721691
一种90°分布式MEMS移相器的设计
摘要:RF MEMS移相器具有传统移相器所无法比拟的体积小、损耗小、成本低、频带宽、易于集成等突出优点。通过在共面波导信号线上贴敷低介电常数的薄层绝缘介质,使得MEMS金属桥与共面波导信号线在“关”态下形成MIM电容的方法,实现了提高“关”“开”两种状态下的电容比,从而提高了单位长度上的相移量。在Ka波段下,建立90°分布式MEMS移相器的等效电路,并对其进行了仿真优化,达到要求的技术指标。 0 序言 近年来随着射频微机械技术的发展,MEMS移相器越来越受到人们广泛关注,已经成为 人
所属分类:
其它
发布日期:2021-01-20
文件大小:311296
提供者:
weixin_38705874
射频微机械移相器
射频微机械移相器 娄建忠 ,赵正平, 杨瑞霞, 吕苗,胡小东 (1.河北工业大学信息学院,天津300130;2.河北大学电子信息工程学院,) 1 引言 微波移相器是相控阵雷达、卫星通信、移动通信设备中的组件,它的工作频带、插入损耗直接影响着这些设备的抗干扰能
所属分类:
其它
发布日期:2021-01-19
文件大小:79872
提供者:
weixin_38557935