通过对射频(RF)放电电压电流以及其相位角的精确测定，结合射频放电的物理模型与等效电路，对金属铜和金电极He气中的射频放电进行实验研究，得出射频放电溅射型铜和金离子等离子体电阻、容抗、鞘层厚度与电流密度的关系；在Goydak模型的基础上计算出电子密度，得出电子密度与气体压强、放电电流密度之间的实验曲线，并对两电极进行了比较。