光学支撑镜架结构稳定性是影响光束定位精度的重要因素。基于光学法进行了镜架结构稳定性测量技术研究, 编写了光学稳定性测试软件,开展了对不同透镜和反射镜镜架结构稳定性测量。实验得到了镜架调节及调节后长时间的漂移量及漂移规律, 比较了不同种类和不同调节量情况下镜架的稳定性。实验建立的稳定性测试系统测量精度达到3.13 μm, 且使用方便, 为光学镜架稳定性提供了快速的检测手段, 并为高功率准分子激光系统镜架选型提供重要参考。