1 概述 　　目前，光栅的电子细分技术是提高光栅位移传感器分辨率的主要途径，可分为软件细分法和硬件细分法。软件细分法虽然可以达到较高的细分数，但由于受到A／D器件转换精度和转换时间的限制，一定程度上影响了测量的实时性。硬件细分法一般用在细分数不太高的场合，而且随着细分数的提高，电路会变得更加复杂。本文使用专用插值芯片(IC-NV)对前端输出的正交信号进行插值细分，利用FPGA对插值细分后的信号进行二次细分；同时利用QuartusII中的Component Editor工具设计了二次细分辨向组件