美帝海登海因公司已研制成功并出售一种激光干涉仪，它具有测量工具机相对于机床的位移程度的能力，也可用作单座标测量仪器来校准块规、卡规和各种尺寸的部件的精确尺寸。这种干涉仪由三个主要部件构成：它们是与干涉光学系统相连的激光器；一个普通棱镜和一个包括估价干涉仪讯号的处理电路的电子器件。该系统可以通过与稳频气体激光器半波长的整数倍相匹配的方法确定位移的程度。分束器将该系统的激光束分为测量光束和用作前者引导的另一光束这两部分。再使光束合在一起，干涉花样就由先前分离的两部分光束的光程差产生。