0 引言 　　倾角传感器是测量关于水平倾斜角的装置，倾角变化测量仪器是许多工业应用设备需要具备的一个组成部分，包括测量设备、卫星天线稳定系统、工厂机床、运动安全监视器和汽车轮位对准装置等。准确地测量倾角的变化，有利于这些设备更加稳定的工作及避免事故发生。现在采用的倾角测量仪大多数体积较大，信号采集比较慢，测量精度不高，误差较大，需要做大量的温度补偿和校准工作。这些缺点制约着工业设备性能的提高，也加大了工程的工作量。 　　ADISl6209是ADI公司新推出的一款精密的微电子机械系统(MEMS