参照国际标准ISO 11146-1: 2005, 提出一种新方法研究平面光波导TE0模衍射光束的模场半宽度、远场发散角半宽度和光束传输因子三个光束参量。在傍轴近似下, 推导出TE0模衍射光束参量基于波导芯层参量、包层衰减参量 、芯层半宽度与狭缝半宽度的解析表达式。数值分析了光束参量与狭缝半宽度的关系, 结果表明, 光束参量随狭缝半宽度变化而变化, 且当没有充分考虑包层场分布时, 光束质量因子小于1。