王秋军，徐红玉，宋亚勤，张元冲（西安交通大学机械结构强度与振动国家重点实验室，陕西 西安 710049）摘要：概述了微尺度热传导理论的几种模型及其求解方法。以金属薄膜的短脉冲激光加热为例，分析了固体材料在微尺度条件下的热响应特征，主要包括短脉冲激光加热条件下金属薄膜中的热平衡时间、薄膜中热传递的波动性特征和微尺度条件下热传递的尺寸效应；同时讨论了对流热损失对金属薄膜热行为的影响。 1引言微机电技术、微机电系统结构和纳米结构在近10年中都取得了巨大的进展并展现出广阔的应用前景，同时与此相关的各个基