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  1. 微影技术日益精进 半导体工艺持续成长

  2. 半导体工业在光学微影技术的帮助下，长期形成持续且快速的成长态势，但光学微影在面对更精密的制程已开始出现应用瓶颈，尤其在小于0.1微米或更精密的制程，必须使用先进光学微影或非光学微影术予以克服。

  3. 所属分类：其它

    • 发布日期：2020-08-28
    • 文件大小：112640
    • 提供者：weixin_38669618