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  1. 微微秒激光退火获得的半导体表面衍射光栅

  2. 目前，使用微微秒脉宽的强脉冲激光辐射的离子注入层退火获有重要意义。这不仅取决于与激光退火的物理机理的暴露有关的问题(特别是,非热过程的作用），而且还取决于超短激光脉冲作用于半导体的实际应用新的可能性。

  3. 所属分类：其它

    • 发布日期：2021-02-08
    • 文件大小：545792
    • 提供者：weixin_38643401