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  1. 工业化硅微机械电容式麦克风的设计与性能计算.pdf

  2. 工业化硅微机械电容式麦克风的设计与性能计算

  3. 所属分类：专业指导

    • 发布日期：2009-05-14
    • 文件大小：241664
    • 提供者：aaa821024

  1. 微机械加速度计的设计、模拟及力学分析

  2. 微机械加速度计的设计、模拟及力学分析 中国科学院力学研究所硕士学位论文 专业：固体力学

  3. 所属分类：专业指导

    • 发布日期：2009-02-18
    • 文件大小：3145728
    • 提供者：tomatoes1986

  1. 通过微机械振荡器测量有效卡西米尔压力来约束轴突-核子耦合常数

  2. 通过利用微机械扭转振荡器间接测量两个镀金板之间的有效卡西米尔压力，可以得到对轴与质子和中子的拟标量耦合常数的更严格的约束。 为此，计算了由于两轴交换引起的附加有效压力。 确定了边界效应的作用以及接近力近似在应用于轴突力时的有效性区域。 所获得的约束比最近从其他实验室实验中发现的约束要强380和3.2，并且与轴突质量从10-3到15 eV有关。

  3. 所属分类：其它

    • 发布日期：2020-04-05
    • 文件大小：343040
    • 提供者：weixin_38589150

  1. 基于Wavelet-Galerkin法的微机械谐振器件挤压膜阻尼求解方法

  2. 基于Wavelet-Galerkin法的微机械谐振器件挤压膜阻尼求解方法，刘宗斌，李普，正确预测挤压膜阻尼对于MEMS器件设计是至关重要的。本文对利用Wavelet-Galerkin方法求解微机械谐振器件的挤压膜阻尼做了初步计算，首先�

  3. 所属分类：其它

    • 发布日期：2020-01-19
    • 文件大小：457728
    • 提供者：weixin_38711972

  1. 真空中微机械谐振器件挤压膜阻尼的分子动力学仿真

  2. 真空中微机械谐振器件挤压膜阻尼的分子动力学仿真，高流，李普，挤压膜气体阻尼是微机械谐振器件的重要能量耗散因素。目前，为了减小这种阻尼，很多微机械谐振器件都封装在真空中。然而，当气压

  3. 所属分类：其它

    • 发布日期：2020-01-19
    • 文件大小：467968
    • 提供者：weixin_38499732

  1. 三轴微机械陀螺仪

  2. ST公司的三轴微机械陀螺仪介绍，该陀螺仪可以用于航模姿态控制上，也可以用于机器人的稳定控制。

  3. 所属分类：制造

    • 发布日期：2013-01-03
    • 文件大小：1048576
    • 提供者：lspr868

  1. 基于微机械加速度计的无键多功能电视遥控器

  2. 本文介绍一种基于微机械加速度计的无键遥控器的设计。该产品可利用运动姿势控制电视，操作简单方便，尤其适合行动不方便的群体。

  3. 所属分类：其它

    • 发布日期：2020-07-30
    • 文件大小：72704
    • 提供者：weixin_38608875

  1. 传感技术中的微机械传感器

  2. １引言 　　微机电系统（ＭｉｃｒｏｅｌｅｃｔｒｏＭｅｃｈａｎｉｃａｌＳｙｓｔｅｍｓ，ＭＥＭＳ）是在微电子技术基础上发展起来的多学科交叉的前沿研究领域。经过几十年的发展，已成为世界瞩目的重大科技领域之一。它涉及电子、机械、材料、物理学、化学、生物学、医学等多种学科与技术，具有广阔的应用前景。目前，全世界有大约６００余家单位从事ＭＥＭＳ的研制和生产工作，已研制出包括微型压力传感器、加速度传感器、微喷墨打印头、数字微镜显示器在内的几百种产品，其中微传感器占相当大的比例。微传感器是采用微电子和微机

  3. 所属分类：其它

    • 发布日期：2020-11-18
    • 文件大小：118784
    • 提供者：weixin_38600017

  1. RFID技术中的射频微机械移相器

  2. 射频微机械移相器 娄建忠 ，赵正平， 杨瑞霞， 吕苗，胡小东 (1．河北工业大学信息学院，天津300130；2．河北大学电子信息工程学院，) 1 引言 微波移相器是相控阵雷达、卫星通信、移动通信设备中的核心组件，它的工作频带、插入损耗直接影响着这些设备的抗干

  3. 所属分类：其它

    • 发布日期：2020-12-09
    • 文件大小：82944
    • 提供者：weixin_38721691

  1. 传感技术中的微机械惯性传感器检测平台的设计与应用

  2. 微机械惯性传感器检测平台的设计与应用  摘要：一种用于微机械惯性传感器研制与开发的检测平台，介绍电容式惯性传感器微电容信号的检测原理、该系统的总体结构、各个组成部分的工作原理及自动检测方法。     关键词：微机电系统（MEMS） 微机械陀螺（MMG） 检测 随着科学技术的发展，许多新的科学领域相继涌现，其中微米/纳米技术就是诸多领域中引人注目的一项前沿技术。20世纪90年代以来，继微米/纳米技术成功应用于大规模集成电路制作后，以集成电路工艺和微机械加工工艺为基础的各种微传感器和微

  3. 所属分类：其它

    • 发布日期：2020-12-13
    • 文件大小：113664
    • 提供者：weixin_38543280

  1. 基于外延硅悬臂的微机械相对湿度传感器

  2. 基于外延硅悬臂的微机械相对湿度传感器

  3. 所属分类：其它

    • 发布日期：2021-03-24
    • 文件大小：659456
    • 提供者：weixin_38733382

  1. 适用于微机械惯性传感器的16位sigma-delta调制器

  2. 提出了一种用于微机械惯性传感器的四阶低失真低通sigma-delta（σδ）调制器。所提出的单环单比特反馈调制器通过前馈路径进行了优化，以减少非线性和功耗。该IC采用标准的0.6μmCMOS技术实现，并以3.846 MHz的采样频率工作。带有23个焊盘的芯片面积为2.12 mm2。实验结果表明，在128的过采样率（OSR）下，信噪比（SNR）为100 dB，动态范围（DR）为103 dB，在9.8 kHz时的输入信号幅度为-3.88 dBFS。在5 V电源下的功耗为15 mW。

  3. 所属分类：其它

    • 发布日期：2021-03-19
    • 文件大小：1048576
    • 提供者：weixin_38630463

  1. 基于奇异谱分解的微机械加速度计振动噪声抑制方法

  2. 微机械(MEMS)惯性传感器成本低的同时噪声较大,易受振动信号的干扰。为了利用微机械惯性传感器构成低成本姿态估计系统,提出了一种基于奇异谱分解(SSA)的振动噪声预处理方法。SSA方法的实质是利用延迟扩维矩阵进行主成分分析,其延迟相关的算法能够有效地分离出加速度计测量值中的趋势项与周期项,趋势项中包含有需要的姿态变化信号,周期项即为低频振动噪声,根据过零点检测方法提取出趋势项,将该趋势项作为加速度计的测量值,即可实现对振动噪声信号的抑制,有效地提高姿态估计精度。实际的跑车实验验证了该方法的可行性

  3. 所属分类：其它

    • 发布日期：2021-03-18
    • 文件大小：513024
    • 提供者：weixin_38622149

  1. 基于低温共烧陶瓷的微机械差分电容式加速度计的研究

  2. 基于低温共烧陶瓷的微机械差分电容式加速度计的研究

  3. 所属分类：其它

    • 发布日期：2021-03-17
    • 文件大小：638976
    • 提供者：weixin_38642735

  1. 微机械硅半球形谐振器

  2. 微机械硅半球形谐振器

  3. 所属分类：其它

    • 发布日期：2021-03-07
    • 文件大小：424960
    • 提供者：weixin_38560797

  1. 级联腔耦合实现远程微机械振荡器的稳态纠缠

  2. 在本文中，我们提出了一种在单向耦合腔中生成远程微机械振荡器稳态纠缠的方案。 对于两个机械振荡器的系统，我们表明，当分别在红色和蓝色失谐的边带驱动每个腔中的两个腔模式时，通过级联可以生成两个机械振荡器的稳态双模式压缩真空状态腔耦合。 通过调节泵浦激光器的相对强度可以控制挤压程度。 我们的计算还表明，所实现的机械缠结对热波动具有鲁棒性。 对于多个机械振荡器，我们发现在远程机械振荡器之间也可以建立稳态的真正多部分纠缠。 本方案不需要非经典的光输入或有条件的量子测量，并且可以用当前的实验技术来实现。 D

  3. 所属分类：其它

    • 发布日期：2021-03-04
    • 文件大小：796672
    • 提供者：weixin_38638647

  1. 基于迈克耳孙干涉仪的微机械光纤信号调制器

  2. 基于迈克耳孙干涉仪原理，设计了利用双光束干涉效应的微机械光纤信号调制器。实验中从输入端输入的光纤信号，经分光板后分为光强相等的透射光束与反射光束；调制信号以电压形式加载于压电陶瓷，使其伸缩振荡，以调制透射光束与反射光束之间的光程差；透射光束与反射光束经透镜聚焦后在输出端面发生双光束干涉，在输出端输出被调制的光信号，再耦合进光纤。这种光纤信号调制器属于振幅调制类型，实验中光纤信号调制器调制度优于90％，信噪比约为18 dB，带宽约为200 kHz。此调制器件具有结构简洁、调制度高、稳定性好和价格低

  3. 所属分类：其它

    • 发布日期：2021-02-26
    • 文件大小：1028096
    • 提供者：weixin_38664159

  1. 无驱动结构硅微机械陀螺芯片的离子刻蚀技术

  2. 利用等离子体刻蚀理论和实验相结合的方法,实现了离子刻蚀无驱动结构硅微机械陀螺芯片技术。实验表明:离子刻蚀55μm硅的均匀性U=0.63%,选择比P=90∶1,刻蚀速率V=7.25μm/min,侧壁垂直度为90°±1°。应用该技术刻蚀出的芯片表面平整、光滑,解决了湿法刻蚀难以解决的横向腐蚀问题,并提高了刻蚀速率。

  3. 所属分类：其它

    • 发布日期：2021-02-25
    • 文件大小：593920
    • 提供者：weixin_38721252

  1. 微机械振动环陀螺(英文)

  2. 为了减小振动环驱动模态和检测模态的频率差从而提高陀螺性能,提出了一种采用电磁驱动、电磁检测的全对称振动环陀螺结构。采用MEMS体硅工艺完成该微机械振动环陀螺的加工,其结构在保持镜像对称的同时,还保持了中心对称,因此整个结构高度对称,有利于减小模态频率差。为有效跟踪陀螺驱动模态的谐振频率并稳定驱动模态的幅值,设计了闭环驱动控制电路。该电路由低噪声前置放大器、相位调整环节以及自动增益放大器( VGA)组成。测试结果表明,该陀螺两个模态频率差为0.27 Hz ,实现了频率较好的匹配。在±200°/s

  3. 所属分类：其它

    • 发布日期：2021-02-23
    • 文件大小：470016
    • 提供者：weixin_38714637

  1. 位错型微机械可变光衰减器的研究

  2. 介绍了一种基于微机械技术实现的可变光衰减器,通过微电磁驱动器改变输入输出光纤之间的径向偏移量来调整衰减量。基于波导传输理论分析确定了器件的结构参量,并通过集成电路微细加工工艺实现了器件的制作和封装。测试结果表明,该可变光衰减器的插入损耗小于1 dB,动态范围约35 dB,工作电压小于5 V,偏振相关损耗小于0.1 dB,体积为20 mm×15 mm×8 mm,有望为全光网提供一种低成本,高性能的光通信器件。

  3. 所属分类：其它

    • 发布日期：2021-02-11
    • 文件大小：386048
    • 提供者：weixin_38661236
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