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搜索资源列表

  1. 关于微机电系统（MEMS）的介绍课件

  2. 微机电系统（MEMS）的分类，制造工艺，几种重要的器件等。

  3. 所属分类：制造

    • 发布日期：2009-05-14
    • 文件大小：8388608
    • 提供者：hill_cheung

  1. 煤矿井下微机电系统陀螺随机误差辨识

  2. 针对常用随机误差辨识方法不能揭示潜在的误差源、很难分离出具体随机误差、数据采集时间过长等问题，利用Allan方差分析法对煤矿井下微机电系统（MEMS）陀螺随机误差进行辨识。介绍了Allan方差分析法原理，利用Allan方差分析法对MEMS陀螺实测数据进行处理，给出了Allan标准差曲线，通过最小二乘拟合得到MEMS陀螺的主要随机误差系数。实验结果验证了Allan方差分析法用于MEMS陀螺随机误差辨识的有效性。

  3. 所属分类：其它

    • 发布日期：2020-05-01
    • 文件大小：544768
    • 提供者：weixin_38686557

  1. 东南大学微机电系统-MEMS简介..ppt

  2. 早在二十世纪六十年代，在硅集成电路制造技术发明不久，研究人员就想利用这些制造技术和利用硅很好的机械特性，制造微型机械部件，如微传感器、微执行器等。如果把微电子器件同微机械部件做在同一块硅片上，就是微机电系统——MEMS: Microelectromechanical System。

  3. 所属分类：讲义

    • 发布日期：2020-03-12
    • 文件大小：15728640
    • 提供者：weixin_42079409

  1. 微机电系统技术mems基础.rar

  2. ppt为哈尔滨工业大学MEMS课件之一，需要的自取 课程主要内容： 微系统概述 微机电系统功能材料 微机械制造技术 微机械执行器 微机械传感器 微机械弱信号检测与处理 设计与软件介绍

  3. 所属分类：讲义

    • 发布日期：2020-03-12
    • 文件大小：247463936
    • 提供者：weixin_42079409

  1. 微机电系统（MEMS）模型数学研究简介

  2. 微机电系统（MEMS）模型数学研究简介，张艳艳，，本文简介微机电系统的物理背景、数学模型和部分研究结果。微机电系统，简称MEMS（micro-electromechanical system），是指微米或纳米级的元�

  3. 所属分类：其它

    • 发布日期：2020-03-02
    • 文件大小：689152
    • 提供者：weixin_38501045

  1. 微机电系统讲义5

  2. 华科的讲义，微机电系统技术基础，赵英俊教授和杨曙年教授。

  3. 所属分类：硬件开发

    • 发布日期：2011-11-23
    • 文件大小：7340032
    • 提供者：loveher_loveher

  1. 微机电系统讲义4

  2. 华科的讲义，微机电系统技术基础，赵英俊教授和杨曙年教授。

  3. 所属分类：硬件开发

    • 发布日期：2011-11-23
    • 文件大小：17825792
    • 提供者：loveher_loveher

  1. 微机电系统电容式微位移检测电路研究

  2. 针对通常微机电系统(MEMS)器件或仪表中微小位移/角度等电容式微弱信号检测的需要,提出了一种基于单载波激励和环形二极管解调的方案,主要包含C/V转换、带通滤波,环形二极管解调,差动放大等环节。基于PSpice的仿真与测试实验表明,该电路检测灵敏度可达3.12V/pF,可满足通常MEMS器件的纳米级微位移测量,且具有体积小、功耗低、易集成等特点,对于微加速度计、陀螺仪、压力传感器等具有良好的实用价值。

  3. 所属分类：其它

    • 发布日期：2020-07-14
    • 文件大小：308224
    • 提供者：weixin_38706197

  1. ATA-2021H功率放大器驱动MEMS传感器即微机电系统

  2. MEMS技术是一个新兴技术领域，主要属于微米技术范畴。MEMS技术的发展已经历了10多年时间，大都基于现有技术，用由大到小的技术途径制作出来的，发展了一批新的集成器件，Aigtek功率放大器驱动微机电系统，大大提高了器件的功能和效率，已显示出了巨大的生命力。MEMS技术的发展有可能会像微电子一样，对科学技术和人类生活产生革命性的影响，尤其对微小卫星的发展影响更加深远，必将为大批量生产低成本高可靠性的微小卫星打开大门。 Aigtek功率放大器在MEMS技术测试方面，ATA-2021H是一款可放大

  3. 所属分类：其它

    • 发布日期：2020-07-13
    • 文件大小：75776
    • 提供者：weixin_38622827

  1. 微机电系统(MEMS)加工及技术基础

  2. 微机电系统技术统有多种原材料和制造技术，选择条件是系统的应用、市场等等。

  3. 所属分类：其它

    • 发布日期：2020-08-09
    • 文件大小：50176
    • 提供者：weixin_38743372

  1. 浅论微机电系统技术和发展趋势

  2. MEMS是Micro Electro Mechanical Systems 的字头缩写，可译为微机电系统，微电子机械系统等。它是指采用微机械加工技术可以批量制作的、集微型传感器、微型机构、微型执行器以及信号处理和控制电路、接口、通讯等于一体的微型器件或微型系统。 　　MEMS 技术的产生和发展MEMS 的发展史， 最早可追溯到19 世纪1962 年第一个硅微型压力传感器问世，1987 年美国加州大学伯克利分校研制出转子，直径为60-120μm 的硅微型静电电机，1987－1988年间一系列关于微

  3. 所属分类：其它

    • 发布日期：2020-10-22
    • 文件大小：133120
    • 提供者：weixin_38745003

  1. 基于PC的IC设计工具开始被用于设计微机电系统

  2. 尽管针对MEMS设计的专用工具套件已经面市，但它们的定价往往超出专注这一增长领域的许多小公司的承受范围。作为一种替代解决方案，低成本的、基于PC的IC工具开始被用于设计微机电系统及IC。不过，这类软件的使用者必须认识到MEMS设计的特殊复杂性，并评估这些软件是否能支持他们的产品制造和生产周期。对于只需要2层掩膜的简单微流通道，这些软件也许正好合适。但对于复杂的多个掩膜层，在错误检测、参数对象构建和其它步骤上浪费的时间和金钱可能会使最初节省的成本变得毫无意义。 　　当MEMS设计包含大量的曲线对象

  3. 所属分类：其它

    • 发布日期：2020-10-22
    • 文件大小：108544
    • 提供者：weixin_38576561

  1. 惯性微机电系统（MEMS）传感器技术原理

  2. 本文将研究医疗导航应用的独特挑战，并且探讨可能的解决方案--从传感器机制到系统特性。首先将回顾传感器的一些重要性能指标，以及在传感器选型中应当考虑的潜在误差和漂移机制。本文还会重点介绍通过集成、融合和处理来增强传感器的方法，例如通过采用卡尔曼滤波。然而，在展开详细论述之前，回顾惯性微机电系统（MEMS）传感器技术的一些基本原理可能会有帮助。

  3. 所属分类：其它

    • 发布日期：2020-10-20
    • 文件大小：176128
    • 提供者：weixin_38724535

  1. 射频微机电系统开关软磁悬臂梁微电镀工艺

  2. 研究了一种电磁型射频（RF）微机电系统（MEMS）开关的软磁悬臂梁的制备工艺。为了得到适合MEMS器件应用的镍铁合金磁性薄膜，展开微电镀工艺分析，采用振动样品磁强计测量镍铁合金薄膜的磁参量。实验结果：最大相对磁导率约为460,薄膜矫顽力约为490 A/m,饱和磁感应强度约为0.9 T,剩磁感应强度为0.03~0.06 T。此结果为开关结构设计优化提供了依据。

  3. 所属分类：其它

    • 发布日期：2020-10-20
    • 文件大小：165888
    • 提供者：weixin_38693524

  1. 汽车上mems微机电系统的应用

  2. mems(微机电系统)传感器;有三项MEMS技术产品：红外传感器、磁性传感器、测角传感器;在高档汽车中，大约采用25至40只MEMS传感器;

  3. 所属分类：其它

    • 发布日期：2020-10-19
    • 文件大小：44032
    • 提供者：weixin_38518885

  1. 传感技术中的精密MEMS（微机电系统）惯性传感器ADIS16334/ADIS16375特点与功能框图

  2. ADIS16334和 ADIS16375是两款高度集成的精密 MEMS(微机电系统)惯性传感器，可以帮助工业和医疗设备制造商更轻松地实现运动捕获和控制功能。新款 IMU(惯性测量单元)实现了极高的精度和易用性，能够在工业过程控制和精密医疗仪器等各领域的设备中快速嵌入导航、跟踪、制导、仪表控制、平台稳定和其它六自由度检测功能。 　　ADIS16375和 ADIS16334的主要特性和优势 　　ADI 公司的 iSensor IMU 产品系列已得到工业和医疗市场 OEM 设计人员的广泛采用。新产

  3. 所属分类：其它

    • 发布日期：2020-11-04
    • 文件大小：96256
    • 提供者：weixin_38507923

  1. 嵌入式系统/ARM技术中的微机电系统集成与性能、成本和可靠性的综合考虑

  2. MEMS是否集成具有争论性，集成是实现高性能、低价格、高可靠性与高质量的唯一办法，但其研发和生产投入较大，需要较大的批量来支持，而且要解决可行的工艺问题。本文分析了集成和不集成两种观点及其现实依据，同时展望MEMS集成的发展趋势。  　　集成是微机电系统(MEMS)的一种可行途径吗？当可能需要额外的时间并冒额外的风险时，MEMS项目应选择单芯片集成途径吗？也许将几块裸片置于同一封装内是一种更好的解决方案，但是应该采用什么样的标准呢？这个问题不容易回答，因为存在一些不确定因素，且常常只有在产品推向

  3. 所属分类：其它

    • 发布日期：2020-11-27
    • 文件大小：108544
    • 提供者：weixin_38566318

  1. 微机电系统磁场传感器信号处理电路

  2. 微机电系统磁场传感器信号处理电路

  3. 所属分类：其它

    • 发布日期：2021-03-17
    • 文件大小：669696
    • 提供者：weixin_38734037

  1. 微机电系统磁场传感器信号处理电路

  2. 微机电系统磁场传感器信号处理电路

  3. 所属分类：其它

    • 发布日期：2021-03-17
    • 文件大小：841728
    • 提供者：weixin_38740827

  1. 微机电系统（MEMS）热导率气体传感器的制造与表征

  2. 为了解决珠状导热气体传感器的电阻分布大，补偿器匹配困难的问题，提出了一种基于MEMS技术的微机电系统（MEMS）导热气体传感器。 通过在Al2O3上对陶瓷膜进行原位微加工来制备传感器载体，并通过印刷Craft.io形成Pt敏感加热电极。 最后，通过非气密包装敏感组件和气密包装补偿组件来制造热导率传感器。 基于仿真方法，还讨论了所制造传感器的温度和应力特性。 详细的实验表明，所制造的MEMS热导率气体传感器具有很高的导热性，灵敏加热电极的零电阻范围为2 +/- 0.2Ω。 CH4气体在0的恒定电压

  3. 所属分类：其它

    • 发布日期：2021-03-13
    • 文件大小：530432
    • 提供者：weixin_38691970
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