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  1. 微机电系统(MEMS)加工及技术基础

  2. 微机电系统技术统有多种原材料和制造技术，选择条件是系统的应用、市场等等。

  3. 所属分类：其它

    • 发布日期：2020-08-09
    • 文件大小：50176
    • 提供者：weixin_38743372

  1. 汽车MEMS传感器应用及发展

  2. MEMS是在集成电路生产技术和专用的微机电加工方法的基础上蓬勃发展起来的高新科技，其研究开发主要集中在微传感器、微执行器和微系统三个方面，目前主导MEMS市场的传感器已形成产业。用此技术研制的五花八门的微传感器具有体积小、质量轻、响应快、灵敏度高、易生产、成本低的优势，可以测量各种物理量、化学量及生物量。在市场引导、科技推动、风险投资、政府介入等多重作用下，汽车MEMS传感器发展迅速，现已成为相关部门争先投资开发的热点。在高档汽车中，大约采用25至40只MEMS传感器，技术上日趋成熟完善，可满足

  3. 所属分类：其它

    • 发布日期：2020-10-26
    • 文件大小：101376
    • 提供者：weixin_38722464

  1. 传感技术中的微机械惯性传感器检测平台的设计与应用

  2. 微机械惯性传感器检测平台的设计与应用  摘要：一种用于微机械惯性传感器研制与开发的检测平台，介绍电容式惯性传感器微电容信号的检测原理、该系统的总体结构、各个组成部分的工作原理及自动检测方法。     关键词：微机电系统（MEMS） 微机械陀螺（MMG） 检测 随着科学技术的发展，许多新的科学领域相继涌现，其中微米/纳米技术就是诸多领域中引人注目的一项前沿技术。20世纪90年代以来，继微米/纳米技术成功应用于大规模集成电路制作后，以集成电路工艺和微机械加工工艺为基础的各种微传感器和微

  3. 所属分类：其它

    • 发布日期：2020-12-13
    • 文件大小：113664
    • 提供者：weixin_38543280

  1. 一种新型微机电系统扫描镜的谐振频率研究

  2. 在微光机电系统(MOEMS)技术的基础上，采用绝缘体上硅(SOI)的体硅加工工艺，设计并加工制作了一种新型的静电驱动的谐振式微机电系统(MEMS)扫描镜。介绍了其基本工作原理及结构设计特点；理论计算了圆形和方形两种结构的尺寸扫描镜的谐振频率，并利用ANSYS有限元软件进行仿真；设计并搭建了一个简单易操作的光学测试系统，对研制出的MEMS扫描镜(7.1 mm×5.2 mm)进行扫描角度测试。利用该器件参数激励的迟滞频率特性，对其谐振频率进行实际测量。同时，为验证其所测谐振频率的准确性，利用激光多普

  3. 所属分类：其它

    • 发布日期：2021-02-09
    • 文件大小：5242880
    • 提供者：weixin_38609128

  1. 基于CY7C136双端口RAM实现微机械惯性通用检测系统的设计

  2. 随着科学技术的发展，许多新的科学领域相继涌现，其中微米/纳米技术就是诸多领域中引人注目的一项前沿技术。20世纪90年代以来，继微米/纳米技术成功应用于大规模集成电路制作后，以集成电路工艺和微机械加工工艺为基础的各种微传感器和微机电系统（MEMS）脱颖而出，平均年增长率达到30%。微机械陀螺是其中的一个重要组成部分。目前，世界各个先进工业国家都十分重视对MMG的研究及开发，投入了大量人力物力，低的产品已经问世，正在向高发展。　　1 微机械振动陀螺仪的简要工作原理　　陀螺系统组成见图1，它由敏感元件

  3. 所属分类：其它

    • 发布日期：2021-01-19
    • 文件大小：110592
    • 提供者：weixin_38650951