采用溶胶凝胶法合成ZrO2-SiO2有机无机复合光波导材料,通过改变其中ZrO2的含量来调节材料的折射率,使材料分别适用于平面光波导的导光层(ng≈1.497)和衬底层、包层(nb=nc≈1.479)。采用旋转涂膜工艺和相应的热处理,在单晶硅基片上制备衬底层、导光层和包层等薄膜,其中导光层介质因具有感光性而可通过紫外光刻来制备光路图案。所得有机无机复合ZrO2-SiO2板型平面光波导(衬底层+导光层),用棱镜耦合截断法测试其光损耗在632.8 nm波长处约为0.8 dB/cm。对板型平面波导的导