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硅集成电路工艺 期末考试题 答案(完整整理版)
化学气相沉积 物理气相沉积溅射镀膜蒸发镀膜2、扩散掺杂与离子注入掺杂所形成的杂质浓度分布各自的特点是什么?与扩散掺杂相比离子注入掺杂的优势与缺点各是什么? 3、简述离子注入工艺中退火的主要作用。
所属分类:
专业指导
发布日期:2009-12-31
文件大小:107520
提供者:
shupl1988
压力传感器、压力变送器、扩散硅压力传感
压力传感器(压力变送器、扩散硅压力传感器)采用带不锈钢隔离膜的扩散硅压阻式压力传感器作为信号测量元件,信号处理电路位于不锈钢壳体内,传感器信号经过专业信号调理电路转换成标准4-20mA电流或RS485信号输出。压力传感器(压力变送器、扩散硅压力传感器)DATA-52系列经过了长期老化及稳定性考核等工艺,性能稳定可靠,广泛地应用于石油、化工、冶金、电力等工业过程现场测量和控制。
所属分类:
其它
发布日期:2016-11-15
文件大小:114688
提供者:
data86red
IC Sensors US 系列扩散硅超稳压力传感器 US 300型.pdf
IC Sensors US 系列扩散硅超稳压力传感器 US 300型pdf,IC Sensors US 系列扩散硅超稳压力传感器 US 300型
所属分类:
其它
发布日期:2019-09-23
文件大小:260096
提供者:
weixin_38744153
IC Sensors US 系列扩散硅超稳压力传感器 US 10000型.pdf
IC Sensors US 系列扩散硅超稳压力传感器 US 10000型pdf,IC Sensors US 系列扩散硅超稳压力传感器 US 10000型
所属分类:
其它
发布日期:2019-10-10
文件大小:344064
提供者:
weixin_38743481
IC Sensors US 系列扩散硅超稳压力传感器 US 600型.pdf
IC Sensors US 系列扩散硅超稳压力传感器 US 600型pdf,IC Sensors US 系列扩散硅超稳压力传感器 US 600型
所属分类:
其它
发布日期:2019-10-10
文件大小:260096
提供者:
weixin_38743602
华海测控-扩散硅压力变送器选型册.pdf
华海测控-扩散硅压力变送器选型册pdf,华海测控-扩散硅压力变送器选型册
所属分类:
其它
发布日期:2019-10-22
文件大小:225280
提供者:
weixin_38743481
优化n型接触极钝化多晶硅太阳能电池的硼扩散工艺
光伏产业对高效率和低成本太阳能电池的需求促进了太阳能电池制造工艺的不断优化。在制造过程中,控制硅晶片尺寸和硅中杂质浓度的需求变得越来越重要。目前,太阳能电池的标准化生产线包括采用柴可拉斯基工艺制作硅锭,将硅锭切块,晶圆切片,纹理化,发射极扩散,边缘隔离,抗反射涂层,丝网印刷,退火以及最终测试。该生产线的每个步骤都可以分别进行优化,以提高太阳能电池的效率。文中主要研究n型接触极钝化多晶硅太阳能电池的硼扩散过程,研究扩散曲线对太阳能电池效率的影响。首先,使用EDNA2进行仿真模拟以确定重掺杂区的参数
所属分类:
其它
发布日期:2020-05-04
文件大小:1048576
提供者:
weixin_38738511
1-硅中注入硼的扩散.pdf
硅中注入硼的扩散
所属分类:
制造
发布日期:2020-04-17
文件大小:141312
提供者:
weixin_46996530
不同固化材料在黄土中的扩散特征
不同固化材料在黄土中的扩散特征,吴万炯,张帆宇,随着黄土地区基础建设的快速发展,黄土的固化研究越来越重要了。纳米硅作为一种新型固化材料,是一种很好的黄土固化材料。本文主
所属分类:
其它
发布日期:2020-01-10
文件大小:550912
提供者:
weixin_38595243
硅在Fe/Al固态扩散反应中对Fe2Al5生长动力学的影响
硅在Fe/Al固态扩散反应中对Fe2Al5生长动力学的影响,韩炜,尹付成,采用Fe/Al-Si扩散偶的方法,利用SEM-WDS,研究了550 ℃硅在Fe/Al固态扩散反应中对Fe2Al5生长动力学的影响。实验发现铝中硅含量不超过1.5 wt%�
所属分类:
其它
发布日期:2020-01-08
文件大小:396288
提供者:
weixin_38672731
硅中注入硼的扩散硅中注入硼的扩散
硼是半导体材料中最主要的杂质,而精确控制杂质浓度剖面是半导体工艺的关键问题之一. 对硼在硅中 的扩散从理论与实验的结合方面进行了系统的讨论.
所属分类:
专业指导
发布日期:2010-11-10
文件大小:264192
提供者:
rainlym
离岸混凝土氯离子扩散系数的人工神经网络模型
为研究人工神经网络在离岸混凝土氯离子渗透中的应用,从已有文献中选用653组数据,建立网络结构为13-27-1的模型进行训练、预测。研究结果表明:人工神经网络能有效预测离岸混凝土中的氯离子扩散系数;水灰比,水泥、减水剂、外加剂(粉煤灰、矿渣、硅灰)、骨料的含量以及混凝土的抗压强度、养护机制、试验方法、暴露时间和暴露环境均会对氯离子扩散系数产生影响。
所属分类:
其它
发布日期:2020-06-17
文件大小:344064
提供者:
weixin_38743391
工业化晶体硅太阳电池技术
近十余年来,晶体硅太阳电池产业得到了蓬勃的发展,其制造技术也在不断进步。作者简要回顾了太阳电池的发展 历史;描述了太阳电池的工作原理及工业化生产的工艺步骤;重点介绍了当前工业化生产中提高电池效率的几个主要方 法,包括优化硅片性能、高方阻、先进的金属化、以及选择性扩散等;最后强调了技术进步对规模化生产带来的影响。
所属分类:
制造
发布日期:2010-09-21
文件大小:384000
提供者:
seakyding
基础电子中的扩散硅压力传感器选型须知
利用压阻效应原理,采用集成工艺技术经过掺杂、扩散,沿单晶硅片上的特点晶向,制成应变电阻,构成惠斯凳电桥。利用硅材料的弹性力学特性,在同一切硅材料上进行各向异性微加工,就制成了一个集力敏与力电转换检测于一体的扩散硅传感器。 选型须知 1、 传感器、变送器的选择 用户根据自己所测压力的性质,首先应确定选择表压(相对于当地大气压)、差压、绝对压力或负压品种。如果测量液位,还要确定液位上方是自由大气压还是密封容器压力。如果测量密封承压容器内的液位就应该选用差压产品。 2、 产品量
所属分类:
其它
发布日期:2020-10-21
文件大小:71680
提供者:
weixin_38711972
MEMS和信号调理实现扩散硅压力传感器
文中介绍通过采用MEMS(micro electro mechanical systems)技术制造的硅压阻力敏元件结合智能集成化信号调理技术设计了适合批量制造的小型化坚固封装的通用汽车压力传感器。通过智能调理技术将传感器的零位和满度进行温度校准实现了宽温度工作范围内的高精度测量,并且适合于批量制造。
所属分类:
其它
发布日期:2020-10-21
文件大小:322560
提供者:
weixin_38706531
MEMS硅压阻式汽车压力传感器分析
传感器将各种物理信号转化为电信号从而将汽车行驶的具体状态传送给电子控制单元来实现汽车控制。设计了基于MEMS技术和智能化信号调理的扩散硅压力传感器应对汽车压力系统的压力检测。
所属分类:
其它
发布日期:2020-10-20
文件大小:280576
提供者:
weixin_38690508
一种扩散硅压力式密度静态测量系统
摘要:全面实现轻化工过程的自动控制,溶液的密度(或浓度)等成分的测量是一个关键问题。通过多个扩散硅压力式传感器,结合单片机系统,实现了溶液密度的静态测量,并取得了较好的实验测量效果。 在制糖等轻化工程中,为了全面实现工艺过程及质量的自动控制,需要对溶液的密度、浓度等万分进行测量,而密度的在线测量与湿度、流量、压力及液位等非电量测量相比,较为落后。谐振式和奥我力式密度计工作原理复杂,价格昂贵,未能在工业过程中普及;压差式密度测量一般采用具有可动部件和测量精度不高的机械式压力传感器(或压力变送器)[
所属分类:
其它
发布日期:2021-02-03
文件大小:172032
提供者:
weixin_38607479
扩散硅压力传感器选型须知
利用压阻效应原理,采用集成工艺技术经过掺杂、扩散,沿单晶硅片上的特点晶向,制成应变电阻,构成惠斯凳电桥。利用硅材料的弹性力学特性,在同一切硅材料上进行各向异性微加工,就制成了一个集力敏与力电转换检测于一体的扩散硅传感器。 选型须知 1、 传感器、变送器的选择 用户根据自己所测压力的性质,首先应确定选择表压(相对于当地大气压)、差压、压力或负压品种。如果测量液位,还要确定液位上方是自由大气压还是密封容器压力。如果测量密封承压容器内的液位就应该选用差压产品。 2、 产品量程的
所属分类:
其它
发布日期:2021-01-20
文件大小:69632
提供者:
weixin_38689338
BPE610扩散硅压力变送器产品样本
BPE610扩散硅压力变送器产品样本。 介绍了关于BPE610扩散硅压力变送器产品样本的详细说明,提供变送器的技术资料的下载。
所属分类:
其它
发布日期:2021-03-30
文件大小:1048576
提供者:
weixin_38606076
华海测控-扩散硅压力变送器选型册
华海测控-扩散硅压力变送器选型册. 介绍了关于华海测控-扩散硅压力变送器选型册的详细说明,提供变送器的技术资料的下载。
所属分类:
其它
发布日期:2021-03-30
文件大小:1048576
提供者:
weixin_38609913
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