使用衍射光学元件（DOE）作为投影光刻照明系统实现离轴照明（OAI）的光束整形匀光器件，能够在保持较高照明效率的基础上精确控制OAI光束的形状及光强分布。在矢量角谱传输方法的基础上，建立了投影光刻用DOE的矢量分析模型，并对标量方法设计的DOE在偏振照明情况下的匀光与整形性能进行了分析。分析结果表明DOE在大角度衍射、单元尺寸与工作波长相近条件下，一般标量近似条件已不满足，仍采用标量迭代方法进行DOE设计，则计算结果存在较大误差。