提出了一种弧形齿面蚀刻衍射光栅波长路由器，通过合理设计齿面形状，可以同时提高器件的损耗均匀特性和频谱通带带宽。设计了基于InP平台，中心波长1550 nm，通道间隔400 GHz的4×4波长路由器。仿真结果显示，各通道之间的损耗差异可由8.1 dB减小到0.8 dB，频谱响应形状为平顶，1 dB带宽由0.3 nm增加到1.6 nm，并可以通过调整设计参数，平衡器件的损耗均匀程度、带宽和整体损耗。实验结果显示，各通道间差异为3.1 dB，1 dB带宽约为1.1 nm，器件串扰低于-12 dB，验证