阐述了一种在掺锆杂化薄膜上获得分布反馈结构的软刻蚀制备方法，该薄膜采用可紫外光交联的溶胶凝胶(sol-gel)法制得。采用全息双光束干涉方法制备一维光栅母版，并将聚二甲基硅氧烷(PDMS)预聚物浇铸在光栅母版上，加热固化后发生交联反应可以得到弹性体印章。采用旋转涂覆的方法在玻璃基片上制备掺锆的杂化薄膜后，并将弹性体印章覆盖在掺锆的杂化薄膜上，再分别经过预热处理、紫外光照和后热处理，揭起后即可在薄膜上获得分布反馈式结构。使用原子力显微镜(AFM)和扫描电镜(SEM)分别对光栅母版，PDMS印章以及