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  1. 提高球面曲率半径测量精度的方案探讨

  2. 本文讨论了激光球面干涉仪以及数字干涉仪在球面曲率半径测量中的应用,同传统的球面样板检测进行了比较,分析并计算了两者的测量精度,给出了提高球径仪测量精度的原则性方案.

  3. 所属分类：其它

    • 发布日期：2021-02-25
    • 文件大小：5242880
    • 提供者：weixin_38742453