对于O2，O2/He，O2/Ar等的气体放电过程，进行了玻尔兹曼方程的计算求解，获得了电子能量分布函数、平均电子能量、能量利用效率等参数。计算结果表明，获得的电子能量分布函数呈现出典型的非麦克斯韦型分布，这说明在较低的电场强度下不宜采用麦克斯韦型分布的电子能量分布函数。在同样的约化场强(E/N)下纯氧放电的平均电子能量最低，加入载气He和Ar后平均电子能量增加。同样氧气含量的O2/He和O2/Ar混合物，其平均电子能量随着约化场强的变化曲线存在一个交叉点，当E/N较小时，O2/Ar的平均电子能量