射频功率源作为射频电源系统的核心组件之一，其频率固定、转换效率低下，已经成为了制约射频电源系统发展的瓶颈。针对这一问题，提出了射频功率源在双频率工作模式之间自由切换的设计方案。采用直接数字式频率合成器(Direct Digital Synthesizer，DDS)作为射频信号源，选用德国IXYS公司的MOSFTE完成小信号的放大，提高了输出频率稳定度和转换效率；采用并联电感的方法降低了开关时的功率损耗；利用数控式选择开关切换选频网络，从而实现系统在双频率下的适配。同时对提出的方案及理论进行Mul