数字微镜器件（DMD）可以控制其中每个微镜的偏转状态，相对于其他光分束器件，它可以构建出点光源大小可变、间距可调的柔性阵列光源。在前期研究的基础上，理论上推导出该阵列光源可以用于并行共焦测量，改进了测量光路，并结合实际使用找到了合适的阵列光源参数，获知了并行共焦测量系统的纵向分辨率与点光源大小的关系，最终通过对实物的测量较完善地阐述了基于DMD的并行共焦测量系统。