1 引言 数字移相器是收/发（T/R）组件中用于控制电波束的核心元件，在整机系统中被广泛应用，为减小T/R模块的尺寸和重量，降低成本与功耗，提高开关速度，主要采用的是微波单片集成电路（MMIC）工艺制造移相器。单片移相器是制作在GaAs基片上的微波电路，其工作原理和电路功能与传统的微波电路移相器相同，但在设计方法上有很大的不同。这是因为：（1）制作在GaAs基片上的所有元件（包括有源器件及无源元件）都是"平面"结构，它们虽然与传统微波电路元件采用的名称相同，但特性不同，需用复杂的模型来描述。（2