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  1. 斐索式红外干涉仪研制和测试技术研究

  2. 研制了斐索式红外干涉仪,口径为120 mm,配置F/1,F/4标准球面锗透镜,用于检测红外非球面透镜的非球面面形和波像差质量。干涉仪中采用两个红外探测器分别形成对点、测试两路成像光路,并配合光栅尺,实时监测标准镜和被测件的方位,解决了红外光不可见性带来的测试中装夹调整的困难。采用在线标定的方法,实现了大伸长量移相器的标定。使用干涉仪检测了红外非球面透镜的质量,并标定了系统误差。检测结果表明,干涉仪的测量精度均方根(RMS)值优于0.01λ,测量重复性RMS优于0.002λ。
  3. 所属分类:其它

    • 发布日期:2021-02-21
    • 文件大小:2097152
    • 提供者:weixin_38601499