摘要：研究提出了一种新型的低纹波高压直流电源电路结构，该电源采用电压互补的工作原理，将两路独立输出电压相同、相位相差90°的半桥逆变电路并联后输出，使其输出电压并联互补，以达到减小直流输出电压脉动的目的。在介绍该电源工作原理和控制方式基础上，并依据该方案研制了一台小功率样机，结合实验波形，证实了该方案的可行性。 　　0 引言 　　高压直流电源已越来越广泛的应用于工业、医学、核物理、检测等领域。对于X 光机，粒子加速器，电子束焊机，电子束曝光机等一些应用场合，对电压的水平要求比较高，它们均要求

究提出了一种新型的低纹波高压直流电源电路结构,该电源采用电压互补的工作原理,将两路独立输出电压相同、相位相差90°的半桥逆变电路并联后输出,使其输出电压并联互补,以达到减小直流输出电压脉动的目的。

介绍了用于新型电子束曝光机的30 kV精密高压稳压电源。该电源系统采用了直接调整和间接调整相结合的双闭环调整方案，采用了集中补偿和分散补偿相结合的系统补偿方式，成功地解决了既有高静态精度又有高动态稳定性的问题。为了保证高精度、高稳定性和低纹波电压等技术指标的实现，采取了多项合理的特定电路设计。针对电源系统输出直流高压这一特点，对关键技术采取了针对性的切实有效的技术处理，从而满足了高压电源的高可靠性和长期高稳定性的性能要求。各项技术指标均达到或超过原设计要求。