海德汉敞开式光栅尺说明书pdf,海德汉敞开式光栅尺说明书目录 概述 敞开式光栅尺 2 选择指南 4 技术特性 测量原理 测量基准 6 增量式测量方法 7 光电扫描 8 测量准确度 10 可靠性 12 机械结构和安装 14 通用机械数据 17 技术规格 用于超高精度 L|P300系列 18 LP400系列 20 LP500系列 22 LF400系列 24 用于高速长距离测量 LDA1x1系列 26 LIDA4x5系列 28 LIDA4x7系列 30 用于双坐标测量 PP系列 32 电气连接 信号

我们有下列几点需要考虑： 　　①脊宽和脊高的确定； 　　②N+和P+区深度的确定； 　　③N+区偏离内脊侧壁距离的确定。 　　我们现在要做的就是如何优化各参数以使得器件性能最优。具体就是考虑载流子注入到光场区的密度和光场的重叠状况。下面我们来举个例子。 　　图1所示为典型的SOl结构调制器截面。顶层硅为6.5um，这个厚度是可以任意选择的，一般情况下是要保证和光纤耦合的时候损耗不要太大。这个截面的尺寸设置是根据单模条件来实现的［见式（4-85）］。 　　图1   SOl结构调制器

从电学结构分，可分为 　　（1）PIN结构：通过PIN［15］结构的正偏或反偏来实现载流子的注入或耗尽。其特点是制作工艺较简单，集成度差，响应频率较低，从几百kHz到几MHz。如果截面做得小，则调制频率可达几十兆赫兹甚至更高。其结构如图1所示。 　　图1   PIN结构调制臂截面 　　（2）双极场效应管结构［16］（BMFET）：通过对端电压的控制来实现载流子的注入或耗尽。工艺较PIN复杂，响应频率较高，从几MHz到几十MHz。其截面示意如图2所示。 图2  BMFET结构调制器

在正向注入的情况下（即P+区相对于N+区接正偏压），电子和空穴将注入到本征区，形成电流。因为这就是一个p-l-n二极管结构，其导通电压约为0.7 V，所以正偏电压至少应大于0.7 V。在一定偏压下，载流子注入浓度与P+区和N+区的掺杂浓度有关。下面我们先来回顾一下脊形光波导的光场分布，这里根据我们所定义的截面重新计算，如图1所示。 　　图1  脊形光波导基模 　　我们讨论注入到器件（图1）中的载流子浓度。假设P＋区和N＋区的掺杂浓度为5×1018cm-3，正向偏压为0.9V，掺杂区近似被