1 引言       直视式大屏幕电视和显示器尚未大量投放市场，使投影显示发展活跃起来，其中LCOS（LiquidCrystalonSilicon）反射式投影显示刚刚迸人市场，引起业界的重视。因为LCOS技术借硅基CMOS集成电路技术，在单晶硅片上CMOS阵列取代a一Si TFT LCD中玻璃基板上a一Si ＴＦＴ阵列，相比之下前者生产技术更成熟，还有单晶硅迁移率远高于a一Si迁移率，因此不仅适合于高密度、高分辨率、高开口率显示，而且可以周边驱动电路集成一体，甚至可以集成信息处埋系统。但LCO