电子束大扫描场偏转系统设计中,像差的确定是一个必须解决的实际问题。以SDS-3电子束曝光机的磁复合偏转系统为基础,以双通道扫描原理进行扫描,分析了像差与电子束主轨迹的关系。给出了可动物镜的条件,并利用这一条件分析电子束最佳轨迹的结构和方法。并使用计算机辅助设计研究电子束曝光机聚焦偏转系统的结构。由该电子束曝光机试验结果表明,复合系统结构简单紧凑,像差小而可以不用动态校正。采用矢量描写电子轨迹,以积分式表示像差。以0.005 rad半张角,5×10-5的高压纹波,50 mm的像距,10 mm×10
