基于一维纵向振动理论,利用理论解析法设计了机械微细加工辅助用振动平台。利用有限元软件进行优化设计,确定了圆锥段的最佳开槽数量和圆柱段的最佳开狭缝数量,改善了工作面的振幅分布均匀性,增大了工作面的振幅;增加圆锥段的长度以减小振动平台的谐振频率,通过有限元分析,研究了振动平台的谐振特性,满足工程应用的要求,验证了设计方法的可行性。为大尺寸振动体的设计提供了一种简便的方法。