建立了激光辐照下光学表面典型锥状缺陷的热损伤分析模型,基于有限差分方法计算了典型缺陷附近的调制光场和温度场分布,得出了缺陷对材料热损伤阈值的影响规律。结果表明，热损伤阈值与入射激光的波长呈正相关，与缺陷的尺寸呈负相关。同一波长激光辐照的情况下，材料表面有1个缺陷存在时，热损伤首先发生在缺陷处，而当多个缺陷存在时，热损伤首先发生在2个缺陷的中间区域，并且多个缺陷要比单个缺陷更易造成损伤；对于不同波长的辐照激光来说，波长为800 nm的激光要比波长为1064 nm的激光更容易使材料产生损伤。