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搜索资源 - 柔性衬底上ALD法低温制备的ZnO薄膜的光学和电学特性(英文)
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柔性衬底上ALD法低温制备的ZnO薄膜的光学和电学特性(英文)
以二乙基锌和水分别作为金属前驱体和反应物,利用原子层沉积方法(ALD)在柔性衬底上生长ZnO薄膜,讨论了生长温度对薄膜特性的影响。用AFM、XRD和HALL等对薄膜的表面形貌、晶体结构和电学性质进行表征,并且用PL光谱表征了其光学特性。实验结果表明,随着生长温度(低温下)的升高,薄膜的晶体质量和光学特性得到改善。当生长温度为170℃时,薄膜呈现良好的c轴择优取向,且具有较高的电子浓度(5.62×1019cm-3)和电子迁移率(28.2 cm2·V-1·s-1)。
所属分类:
其它
发布日期:2021-03-19
文件大小:524288
提供者:
weixin_38618746