本论文题目来自对现有椭偏仪进行技术改进工作中的“用步进电机取代传统直流减速电机”的研究课题。椭圆偏振测量技术是一种测量薄膜厚度和研究其表面特性的先进方法，具有灵敏度高、精度高、实时和无损样品的优点。在半导体、光学材料、表面物理、化工、冶金、生物和医学等领域都有重要应用。

椭偏仪在薄膜材料研究中的应用，王慷慨，宋晨路，椭偏仪作为薄膜材料研究中一种高效、精准的研究手段，日渐在科研实验和工业生产中得到了广泛应用。本文以光度式椭偏仪为例，对其

步进电动机高精度细分方法及其控制系统 叶韦韦 华南师范大学电信工程系 99 级 本论文题目来自对现有椭偏仪进行技术改进工作中的“用步进电机取代传统直流减速电机”的研究课题。椭圆偏振测量技术是一种测量薄膜厚度和研究其表面特性的先进方法，具有灵敏度高、精度高、实时和无损样品的优点。在半导体、光学材料、表面物理、化工、冶金、生物和医学等领域都有重要应用。