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  1. 模拟技术中的光刻机宏动试验运动平台设计及其减振系统仿真研究

  2. (中南大学机电工程学院,湖南 长沙410083)摘 要:对ADAMS的求解原理进行了简单介绍并运用ADAMS仿真软件分别建立了两种结构对应的虚拟仿真模型,对减振系统分别无主动控制和有主动控制进行了仿真研究。以光刻机为代表的集成电路设备是光、机、电一体化的高精尖产品,其设计和制造集中体现了相关学科中最高水平的研究成果,如对光学镜头表面轮廓的纳米级测量与误差补偿、亚纳米级粗糙度表面的加工,镀膜材料和工艺、运动平台的那米级定位、设备运动环境(振动、温度、湿度、粉尘等)的控制等提出了极高的要求[1-2]
  3. 所属分类:其它

    • 发布日期:2020-12-10
    • 文件大小:109568
    • 提供者:weixin_38515897