1  Star-RCXT工具介绍 　　Star- RCXT以其高精度、友好的用户界面以及和其它工具良好的结合成为目前业界比较流行的一款寄生参数提取工具，是专门针对0.18mm及以下工艺的寄生参数提取所设计的。它采用了二点五维的几何提取技术，达到了三维的提取精度，但比三维的抽取工具速度快很多，能够快速准确地对上百万门的设计进行全局的寄生参数提取。 2  用Star-RCXT进行寄生参数提取的条件 　　应用Star-RCXT进行精细寄生参数提取，还需要两个与工艺参数有关的文件：mapping文件和I